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半導体産業用機器 圧力センサー 温度計 圧力計 圧力スイッチ
流量計/圧力コントロ 流体計測専用設備 エアリークテスター BFシリンダ&減圧弁
     電空レギュレータ
電気で空気を制御する電空精密レギュレータ APUシリーズは、当社独自の回路構成で、高精度と高速応答と高安定性を有しています。外部センサーにより配管上の任意の点の圧力をフィードバック。立ち上がり速度1sec以内、用途に応じてラインアップ。
出力流量:最大5000L/min
圧力レンジ:-90kPa~0.7MPa
制御精度:±0.1%F.S.(標準配管状態)
高速応答性:ステップ入力に対して0.5秒以内(10kPa、負荷30L/min) 
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