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半導体産業用機器 圧力センサー 温度計 圧力計 圧力スイッチ
流量計/圧力コントロ 流体計測専用設備 エアリークテスター ＢＦシリンダ&減圧弁
     ガス連続自動配気系統
当社はガスメーカの要求により多回路ガス連続自動配気系統を開発して、その系統を通じて配気比例を何時でも調べて、改めます。本設備は隔離、防爆、増圧密封、加圧で密封検査を採用して、元の手動的に配気する方法を改善して、精度と速度を上げます。
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技術パラメータ
1．システム精度:≤±2%
2．流量10.0m3/h～30.0m3/h
3. 圧力補正センサーの精度:≤±0.5%F.S.
4. 温度補正センサーの精度:≤±10C
5. ラミナーと微差圧センサー総合精度:≤±1.0%
6. APU流量制御精度:≤±0.3%
7. APU圧力、流量反映時間:≤1.0秒
8. 現場温度:0 ～40℃
9. 配気出口圧力:2kPa～10kPa (お客様の現場により設定します)
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